日本SMC門閥,日本SMC帶閥氣缸,SMC日本自動(dòng)安裝型擺動(dòng)氣缸,CDUW6-15D

• 型   號：CDUW6-20D
• 更新時(shí)間：2025-06-30

日本SMC門閥,日本SMC帶閥氣缸,SMC日本自動(dòng)安裝型擺動(dòng)氣缸,CDUW6-15D
對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

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工作過程空壓機(jī)的低壓級吸氣閥和排氣閥裝在氣缸蓋上，升程為3mm。而高壓級的吸氣閥和排氣閥裝在氣缸中部的閥室內(nèi)。氣缸及活塞均分成直徑上大下小的兩段?；钊敳恳陨蠟闅飧椎牡蛪杭壒ぷ骺臻g，空氣經(jīng)濾清器吸入氣缸?；钊胁康沫h(huán)形空間為高壓級工作空間，由低壓級排出的氣體經(jīng)級間冷卻器冷卻送入高壓級進(jìn)一步被壓縮。為了保證安全，低壓級和高壓級分別裝有安全閥，它們的安全開啟壓力分別比額定排出壓力約高15%和10%。電動(dòng)機(jī)通過彈性連軸器帶動(dòng)曲軸旋轉(zhuǎn)，再經(jīng)連桿，活塞銷帶動(dòng)活塞在氣缸內(nèi)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞從上止點(diǎn)向下止點(diǎn)移動(dòng)時(shí)，空壓機(jī)處于吸氣過程，此時(shí)進(jìn)氣閥彈簧被壓縮，閥片向下運(yùn)動(dòng)，于是進(jìn)氣閥打開，吸入氣體。活塞回行時(shí)，即從下止點(diǎn)向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，吸氣閥開始關(guān)閉，即閥片受其彈簧彈力作用向上運(yùn)動(dòng)至與閥座密合位置。當(dāng)吸、排氣閥均處于關(guān)閉狀態(tài)，活塞繼續(xù)向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，氣體在缸內(nèi)被壓縮，壓力升高到排出壓力時(shí)，排氣閥閥片向上運(yùn)動(dòng)壓縮彈簧而開啟，壓縮過程結(jié)束。排氣閥開啟后，缸內(nèi)壓力即將保持排出壓力大小不變直到活塞行至上止點(diǎn)，全部氣體被排出，排氣過程結(jié)束。氣閥開啟的zui大位置受升程限制器的限制。

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